内容Rkz
6电子行业排放6.5
6.1介绍6.5
6.2的方法论问题6.6
6.2.1 6.6的选择方法
6.2.1.1蚀刻和CVD清洗半导体、液晶显示器,太阳能光电板6.6
6.2.1.2传热流体6.13
6.2.2选择排放因素6.15
6.2.2.1蚀刻和CVD清洗半导体、液晶显示器、光电. . 6.15
6.2.2.2 6.22传热流体
6.2.3选择6.22活动数据
6.2.4完整性6.24
6.2.5 6.25开发一致的时间序列
6.3不确定性评估6.25
6.3.1 6.25排放因子的不确定性
6.26再活动数据的不确定性
6.4质量保证/质量控制(QA / QC),报告和文档6.29
6.4.1质量保证/质量控制(QA / QC) 6.29
6.4.2 6.29报告和文档
参考6.31
方程
方程6.1一级的FC排放量的估算方法6.9
方程6.2层2 6.10 FC排放的估算方法
方程6.3 6.10 CF4排放的副产品
方程6.4 6.10 C2F6排放的副产品
方程6.5 6.10 chf3排放的副产品
方程6.6 6.10 C3F8排放的副产品
方程6.7层2 b 6.11 FC排放量的估算方法
方程6.8 6.12 CF4排放的副产品
方程6.9 6.12 C2F6排放的副产品
方程6.10 6.12 CHF3排放的副产品
方程6.11 6.12 C3F8排放的副产品
方程6.12一级方法估计FC传热流体排放总量的6.14
方程6.13层2的方法估计FC传热流体排放6.14
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